課號： 99A06
中文課名：薄膜技術與應用
授課教師及職稱：謝健, 劉志宏 ( 國家奈米元件實驗室, 工業技術研究院-研究員 )
課程內容包括：本課程著重於”薄膜技術”相關應用-包括真空技術、常見鍍膜方式之設備與其應用面介紹及其製備膜材之特性分析等，期以上述授課內容提供學員於研究及從業上之參考資料。學員將可藉此課程瞭解薄膜技術及其在半導體與光電等產業的相關應用。
1. 引言
2. 真空技術
3. 電漿原理
4. 薄膜結構與成長機制
5. 物理氣相沉積, 化學氣相沉積
6. 常見鍍膜技術製程原理及設備介紹-thermal-CVD(AP/LPCVD)、MOCVD、PECVD、Others(Laser-/Photo-CVD),…
7. 薄膜材料分析; 膜材物性/化性分析、膜表面化學成份分析
8. 奈米結構
9. 鍍膜技術之應用-半導體產業、光電產業、民生科技產業應用介紹授課時間：每週六，9：00～12：00，共8週 授課地點：交大工程四 /五館教室
授課時數及課程費用：優惠價5000元
優惠價報名截止日：2010-07-30截止
授課日期：7/31,8/7,8/14,8/21,8/28,9/4,9/11,9/18
報名請參閱http://web.cm.nctu.edu.tw/~cnc/course.php?ClassNo=99A06 學費折扣：
9折優惠：「通訊與電腦整合應用人才培訓計畫」歷屆學員或廠商團體報名2人(含)或2門以上
8折優惠：交大電信產學聯盟廠商。(詳細辦法請參閱網頁 http://cnc.cm.nctu.edu.tw)
聯絡電話：(03)573-1747
FAX：(03)572-4956
信箱：cnc@cm.nctu.edu.tw
交通大學電機系人才培訓班 - 新聞稿有效日期，至2010/08/20為止
聯絡人 ：莊小姐
聯絡電話：(03)573-1747
電子郵件：cnc@cm.nctu.edu.tw
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