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先進電子量測方案的世界級領導廠商吉時利儀器公司推出針對S530參數測試系統的數個更新；S530參數測試系統目前廣泛用於半導體產業，為一最具成本效益的全自動生產參數測試解決方案。這些更新包括增加吉時利最新的高處理量切換主機(switch mainframe)、協助完整切換訊號，實現更佳的低阻抗量測準確性的探針卡全系列凱文四線式量測法，保護靈敏系統儀器免受高壓損壞的新硬體防護模組，以及一個完整的探針系統規格和診斷工具組合。欲瞭解更多相關訊息，請瀏覽吉時利線上產品導覽： http://keithley.acrobat.com/p20663354/ 。 S530系統被設計為可應用在生產參數測試環境中各式產品組合、或是廣泛應用的彈性和測試開發的速度尤其重要的地方。S530測試系統所採用的成熟電源量測技術和高傳真訊號通道(high fidelity signal pathways)，確保其領先業界的量測準確度和可重複性。 兩款功能強大的參數測試配置 目前有兩款不同的S530系統可供選擇：低電流量測版本是針對次臨界漏電流(sub-threshold leakage)、閘極漏電流(gate leakage)等特性量測；高電壓版本是提供氮化鎵、碳化矽和矽 LDMOS功率元件所要求的崩潰及洩漏測試(breakdown and leakage test)。S530低電流系統(具有2至8 個SMU通道)提供sub-picoamp量測解析度和到探針端所有路徑的低電流防漏機制。S530高壓系統(具有3至7 個SMU通道)包含一台電源量測單元(SMU)，在20mA下可輸出高達1000V(最大功率20W)功率。S530系統經適當配置，可達成製程控制監控、製程可靠性監控及元件特性分析中所需的所有直流和C-V量測應用。
高度混合訊號測試環境中的成本最佳化 S530參數測試系統旨在加速並簡化晶圓測試和測試計畫的制定，在整個測試專案過程中能即時回報狀態給工程人員。例如，控制S530系統的自動化特性分析套件(ACS)軟體，在不影響全自動模式的測試同時，還可互動式開發測試新的測試腳本，以提高開發測試專案的效率。ACS也提供了離線測試和測試結果的分析。 功能強大的ACS軟體 S530系統採用功能強大、被廣泛應用在吉時利其他通過驗證的測試系統中的ACS 4.3版軟體。其可提高產品於實驗室的量測準確度，協助產品量產時維持一貫品質(lab-to-fab correlation)，並加速系統學習。 ACS結合自動參數測試所需的所有元素於單一整合套件中，以優化S530系統的效率和彈性。 業界功能最強大的高電壓參數測試系統 所有的S530系統都配備高功率SMU，可在200V和20V範圍內提供高達20W的輸出或汲入能力，對當今可攜式設備內所採用的高功率元件和電路進行完整的特性分析。無論是LDMOS矽或氮化鎵電晶體測試應用，這種更高的輸出功率能力提供了對元件性能更強的檢視能力；它還確保 S530系統能夠在測試高功率元件的同時，仍維持主要元件量測過程所需的低電流sub-picoamp的靈敏度。S530高電壓系統是目前唯一可提供1KV到高達32接腳探針卡的參數測試儀。這允許在單一通道上進行高電壓和低電流的靈敏度量測，以實現高功率元件的準確特性分析。該系統的高電壓SMU可在20mA下輸出高達1000V(最大功率20W)。 高傳真訊號通道確保更完整的量測 每台S530測試系統採用了高性能的矩陣開關和高傳真訊號通道，在儀器和測試接腳之間傳遞訊號。這些通道的性能在較高電流和電壓範圍的設定，以及因偏移電流限制小訊號的量測，均會直接影響到測試系統的整體性能。S530有八個高傳真通道，可以動態地進行儀器與測試接腳之間的轉接。例如，高達八個SMU可同時被接通到任何測試接腳(或數個測試接腳)。低電流系統提供八個通道一致的高傳真性能，高電壓系統提供了兩個高電壓/低漏電通路，四個通用通道以及兩個C-V量測通道。這兩款系統都可進行高達2MHz的C-V量測。
建立在成熟的SMU技術上
S530參數測試系統所使用的電源量測單元(SMU)奠基於吉時利經合格認證的儀器技術上，確保高度的量測準確性和可重複性，同時協助延長硬體壽命。SMU是四象限電源，可以輸出或汲入電流或電壓。除了精確地量測電流源電路，更協助規範可量測範圍(Compliance)的能力，有助於在待測元件崩潰時，保護元件和探針免受損害。每個 SMU可在電源輸出下，進行電壓和電流的量測，其可確保參數計算結果是反映實際情況，而不只是簡單地依據程式所設定的條件。 電容-電壓(C-V)測試單元選項 所有的S530系統可以配備高速電容電錶對任何接腳，進行高達2MHz的C-V量測。此C-V量測單元在1MHz下量測10pF電容，可達到3％的準確性。 生產品質保證 S530參數測試系統業經品質認證，包括內建的診斷功能、探針卡的系統規格以及符合業界標準，如CE、SemiS2和S8。ACS的「命令列」控制介面簡化了使用者操作介面、簡化與工廠自動主機控制器的整合。 欲瞭解更多資訊，請瀏覽：http://www.keithley.com/products/semiconductor/parametrictestsys/ ，或聯絡：
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地址： 新竹市公道五路二段120號13F-3 有關吉時利儀器公司 吉時利儀器公司擁有超過60年的量測專業，為世界先進電子量測儀器和系統的領導廠商。公司的客戶為全世界電子產業的科學家與工程師，涵蓋的領域包括先進材料研究、半導體元件開發和製造，以及可攜式無線裝備的生產。吉時利提供客戶精確的量測技術，也深刻瞭解客戶的應用，協助客戶提高產品品質同時降低測試成本。吉時利儀器於2011年成為太克科技測試與量測事業群的一員。
- 新聞稿有效日期，至2011/05/15為止
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