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產業動態 Edwards 新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能
Techworks Asia Ltd 本新聞稿發佈於2014/02/14,由發布之企業承擔內容之立場與責任,與本站無關

Edwards 新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能 - - - - - 尖端技術改進氣體流動能力和高溫管理, 以防止粉末沉澱

 
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全球領先的真空設備和尾氣處理系統製造商及相關增值服務供應商Edwards Limited 今天推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板製造商節省更多成本。

Edwards TMP產品行銷經理Shinichi Yoshino表示:「新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它採用了Edwards最新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器,使容許的通過的氣量最大化,從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至最小,尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求,因而也節省了成本,體積緊湊易於在各種應用中快速安裝。此外,就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣,無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”

這款渦輪泵的高抽速度 (4300 l/s N2) 和高流量 (高達4300 sccm N2) 結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力,使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用,包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高整合度的設計包括一個完全密封的電子模組,以在最嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統,以減少來自製程中副產物的沉積物和微粒的堆積。

關於Edwards

Edwards公司是全球領先的精密真空設備和尾氣處理系統製造商及相應增值服務供應商,是半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池生產製程中不可或缺的部分,並廣泛應用於各種工業製程,包括電源、玻璃和其他鍍膜應用、鋼鐵和其他冶金、製藥和化工、科學儀器以及廣泛的研發應用領域。

Edwards在全球20個國家和地區擁有3,200多名全職員工和500名約聘員工,從事高科技真空和尾氣處理設備的設計、製造和支援工作。

要瞭解有關Edwards的更多資訊,請瀏覽網站www.edwardsvacuum.com。

- 新聞稿有效日期,至2014/03/14為止


聯絡人 :Venus
聯絡電話:852-25258038
電子郵件:venus@techworksasia.com

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