台北訊—6月26日—全球半導體產業單晶圓溼式清洗解決方案的領導設備供應商 SEZ Group (SWX: SEZN)，今日宣布其已接獲來自業界領導晶圓製造商訂購超過12台Da Vinci平台的多機台訂單。這些來自既有與新興的先進晶圓代工廠商客戶之訂單，繼先前韓國的訂購之後，進一步提昇了SEZ在亞太地區發展的潛能。

此外，由於有些客戶致力於記憶體裝置的製造，這些訂單更強調了Da Vinci平台在記憶體產業做為提昇至單晶圓濕式製程的催化劑角色。雖說邏輯晶片製造商帶動了這項轉移，但記憶體廠商與晶圓代工廠也開始尋求單晶圓應用為其高階製造運作帶來成本與效能的利益。多年前SEZ將其核心能力移轉至單晶圓技術時便已預見這項趨勢，同時並拓展了其產品系列。不久前，SEZ發表了與記憶體領導廠商共同開發的Da Vinci平台雙面製程模組DV-38DS，將原有DV-38系統內的八個標準反應室換成八個雙面製程模組，讓晶圓正面聚合物與背面有機物/粒子可同時被高效清除。

Da Vinci機台自2003年11月出貨以來便廣受業界歡迎，第100套系統預計於這一季出貨。SEZ執行副總裁暨執行長Kurt Lackenbucher 表示：『亞洲結合SEZ的Da Vinci 系列是十分強而有力的組合。Da Vinci 平台目前佔了SEZ總營收的百分之六十以上，其中超過一半在日本與亞太地區裝機。明顯的，這兩股力量快速推動了我們單晶圓技術的採用。我們十分期待SEZ在產品涵蓋地區內持續的成功，希望即將推出的新平台可以像Da Vinci系列為晶圓後段製程帶來的價值一樣， 替前段製程帶來同樣的貢獻。』

Da Vinci平台是針對晶圓製造商在超深次微米時代所面臨的整體擁有成本(cost-of-ownership)與加速上市時程(time-to-market)挑戰所開發出的產品。此平台結合彈性的多反應室架構與極小的機台佔地面積(footprint)，提供高效能與準確性，同時保有系統最佳運轉時間(uptime)。除DV-38DS之外、 Da Vinci系列產品還包括八個反應室DV-38F/28F系統 與四個反應室DV-34BF/24BF系統。

關於SEZ Group

SEZ Group 是全球半導體產業單晶圓溼式清洗解決方案的領導供應商，在全球各地安裝超過1000套SEZ所提供的工具。SEZ Group在亞洲、歐洲、日本及北美等地均設有營運據點。自1996年，SEZ Holding 在瑞士證交所以SEZN代號掛牌交易。相關詳細資訊請參考www.sez.com。
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- 新聞稿有效日期，至2006/07/26為止

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