靈敏度與使用簡便功能的加強使其在 DRAM、SRAM、Flash 和邏輯裝置的檢測上具備快速而且
符合成本效益的特色同時還能維持高度的缺陷捕獲率

KLA-Tencor (NASDAQ: KLAC) 於今日發表 Puma 91xx 暗視野圖樣晶圓檢測系統—也是廣為業界採用的 Puma 產品系統中的最新成員。Puma 91xx 系列是專為以最低的擁有成本 (CoO) 捕獲範圍最廣泛的關鍵缺陷類型所設計的，它所提供的生產能力幾乎是前一代 Puma 9000 系列的兩倍，但是靈敏度卻仍維持不變或甚至更佳—使得它在 65 奈米與 45 奈米節點的暗視野檢測的效能上，成為同類產品的佼佼者。已經有多套 Puma 91xx 系列的系統運送至全球領先的邏輯、DRAM 和快閃晶圓廠，這些系統被用於先進製程設備監測及生產時的線上及時監控。KLA-Tencor 目前的 Puma 9000 系統安裝平台可現場升級至 91xx 系列效能等級。

任職於日本東芝 (Toshiba) 大分縣 (Oita) 晶圓廠的物料處理工程小組 (Material and Process Engineering Group) 經理 Masanori Numano 表示：「缺陷捕獲、取樣頻率以及每次檢測成本是我們在改善檢測策略時非常重要的考慮因素。當我們轉移至 65 奈米時，我們需要的是能夠符合生產能力需求，同時又不會影響靈敏度的檢測平台。Puma 91xx 在我們的 300 毫米生產線上已經充分展現這種能力。」

線寬向次 65 奈米推進、競爭激烈的環境、產品生命週期的縮短，以及先進製程節點的成本不斷攀升，使得廠商迫切需要能夠節省成本的製造方式。這些經濟上的壓力使得業者不得不開始注重週期時間降低、擁有成本 (CoO) 以及資本管理。因此，IC 製造商開始需要設法從其設備中擷取最大的價值利益，但同時又不能犧牲所需效能以保護及維持最大利潤。為了符合此需求，即使在最廣泛的工藝層面上，檢測工具仍然必須能夠同時提供可發揮最大成本與效能的缺陷監控能力。Puma 91xx 系列不論在缺陷類型捕獲以及生產能力方面都領先同類產品，同時其靈活的架構可依據需要做彈性設定，以符合記憶體與邏輯元件廣泛的應用和價格點。

所有裝置類型的效能領導者
Puma 91xx 系列不論在速度、靈敏度以及使用便利性上都有明顯的改善。資料處理的能力也大幅增加。與 Puma 9000 系列相比，Puma 91xx 系列的檢測生產能力幾乎是前者的兩倍，但卻仍然維持與前者相同的靈敏度。附加的畫素組合提供了最廣泛的生產模式產能，可進行更多取樣、提供更高的靈敏度或是較低的擁有成本。與其上一代的產品系列類似，Puma 91xx 系列整合了 KLA-Tencor 獨有的 Streak™ 多重畫素感測器以及線性掃描技術，達成高解析度的暗視野成像檢測。以聲光折射元件 (AOD) 與光電增倍管 (PMT) 技術為基礎的暗視野系統在速度與靈敏度上會受到限制，但是在 Puma 91xx 系列中則不會發生。

提供更快速的生產整合能力
利用 KLA-Tencor 最新的快速適應單一啟始值 (Fast Adaptive Single Threshold, FAST) 演算法，Puma 應用設定的程序已被大幅地簡化，因此也減少了建立與調整應用條件時所需要的參數數目，與先前的演算法相比減少的幅度將近有百分之 80。KLA-Tencor 的 inline Defect Organizer™ (iDO™) 分級處理解決方案提供更精確的缺陷分類方法以更快速的確認產生缺陷的根本原因。Puma 91xx 系列與 KLA-Tencor 的 23xx/28xx 明視野檢測設備和 eS3x 電束檢測工具皆可通用，因此在平台之間可進行配方共用，不僅使得檢測設備的產量可最大化，同時還能加快檢測設備整合至最適化的生產能量。

「我們去年在推出 Puma 9000 時，很快地獲得了主要業者的採用，因為 Puma 9000 這個設備能夠同時為我們的顧客解決技術層面以及經濟方面的壓力。」KLA-Tencor 晶圓檢測部門的副總裁兼總經理 Paul Marella 表示：「我們很高興新一代的 Puma 91xx 系列能夠提供顧客更快速、更容易使用的系統，也是能夠滿足 65 奈米及 45 奈米記憶體與邏輯元件廣泛的檢測應用的獨特系統。」

KLA-Tencor 公司簡介：KLA-Tencor 是全球半導體製造和相關產業的良率管理及製程控制解決方案領導廠商。其總部位於美國加州聖荷西，在世界各地設有辦事處和服務機構。屬於 S&P 500 大公司的 KLA-Tencor 在 Nasdaq 上市交易，交易代碼為 KLAC。關於該公司其他相關資訊，請造訪公司網站
http://www.kla-tencor.com

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Director, Product Marketing Communications
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dmoreno@mcapr.com

- 新聞稿有效日期，至2006/10/12為止

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