[開課講者] 利定東 博士 利博士為薄膜技術及先進矽元件製程之專家，在產學研界有非常豐富的經歷，任職 Applied Materials時曾負責對台積電、聯電等IC大廠進行技術支援和先進製程轉移的工作，對我國IC廠商技術升級有極大的貢獻。2004年6月起，利博士於Applied Materials參與制定太陽能產學、LED產學和IC精裝產學的發展藍圖以及新商機的發展，對太陽能、LED、IC產學均有非常深入的研究！ 現職：Sr.Director from Applied Materials /國家實驗研究院 Elite project 學歷：美國密西根大學無機化學與材料所博士 經歷：美國應用材料技術總監、國科會伯樂專家、美國普渡大學-博士後研究、IC製程及自動化設備20年以上經驗、IBM Research Lab、Digital Equipment Corp. 專長：Thin film Processes(CVD, PVD, ALD, MOCVD, ECP),Integration of BEOL and FEOL, Semiconductor Equipment and Application
[開課大綱] 1. Semiconductor thin film process 2. Semiconductor metallization and planarization 3. Semiconductor Integration-Al and Cu 4. Semiconductor equipment
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